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激光ITO薄膜划线的最小线宽是多少?

激光ITO薄膜划线的最小线宽是多少?

  ITO导电玻璃触摸屏行业和光伏太阳能行业是透明导电氧化物的重要组成部分。在成品之前,需要对其进行蚀刻,最终在显示行业或光伏行业形成导电线。

  ITO导电玻璃的蚀刻加工有两种工艺方法,一种是化学蚀刻法,也称为湿蚀刻法;另一种是激光蚀刻法,也称为干蚀刻法。化学蚀刻的缺点是环境污染线宽只是为了满足越来越精细的要求,有点高效,初始投资成本低。激光蚀刻的优点是无耗材,无污染,通过高能光束照射ITO玻璃,实现ITO蒸发,形成线路图,优点是线宽非常精细,精度高。

ITO激光划线

  随着应用行业的发展,对加工技术的要求不断提高,加工ITO导电图的线宽和间隔要求较高。在与客户沟通的过程中,经常遇到的问题是ITO激光蚀刻功能是否能达到20微米以下的线宽,加工间隔是否能达到20微米。答案是肯定的。ITO激光蚀刻功能有多小?

  ITO线宽的厚度取决于激光器和光学器件,通常取决于焦点的大小和光源对材料的热影响。波长越短,能量越低,脉冲宽度越窄,扩光镜倍数越高,场镜负面越小,焦点越小,线宽越薄,当然,上述参数有极限值,如扩光镜倍数越高,能量密度越差,不利于加工。低能量只是蒸发ITO表面,不能满足加工需求。因此,我们需要采取一个范围值来满足客户的加工需求。
 

  此外,不同的材料在使用相同的激光蚀刻机时有不同的线宽。例如,镍合金材料的蚀刻线宽比ITO材料厚,这取决于材料本身对激光波长吸收的影响。本文暂时不分析,主要以ITO导电玻璃为参考材料。

  目前,ITO导电玻璃上莱塞激光技术的最小线宽为5微米,采用皮秒激光和小透镜。触摸屏行业对ITO玻璃的一般要求在20-微米之间,采用窄脉宽的红外纳秒激光。不同行业对ITO线宽有不同的要求。在一些行业,ITO线宽的电阻要求相对较高,而光伏行业的一些要求是确保断裂和绝缘。

  可以得出结论,目前激光市场的最小导电玻璃线宽度为5微米,根据不同的光源可以选择性地实现不同的线宽。例如,紫外线纳秒激光的最小线宽度可达15微米。当然,也有EUV光刻机使用极紫外线激光来达到纳米水平。线宽要求主要由客户自身的产品需求决定。


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